| Numéro |
J. Phys. France
Volume 41, Numéro 10, octobre 1980
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| Page(s) | 1173 - 1181 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphys:0198000410100117300 | |
DOI: 10.1051/jphys:0198000410100117300
Transport properties of evaporated versus sputtered amorphous germanium films
M.-L. Theye1, A. Gheorghiu1, T. Rappeneau1 et A. Lewis2, 31 Laboratoire d'Optique des Solides , Université Pierre-et-Marie-Curie, 4, place Jussieu, 75230 Paris Cedex 05, France
2 Division of Applied Sciences, Harvard University, Cambridge, Mass., U.S.A.
3 Present address : Texas Instrument, Dallas, Texas, U.S.A.
Abstract
The electrical d.c. conductivity and the thermoelectric power of evaporated amorphous Ge films prepared under various conditions were thoroughly measured over a wide temperature range (50-600 K). The results are compared in detail to those of similar measurements on sputtered amorphous Ge films. The similarities between the transport properties of the two types of samples are emphasized and discussed. The discrepancies are tentatively attributed to the non-homogeneity of the different amorphous films.
Résumé
La conductibilité électrique en courant continu et le pouvoir thermoélectrique de couches minces de Ge amorphe préparées par évaporation sous vide dans différentes conditions ont été mesurés avec soin dans un large domaine de température (50-600 K). Les résultats sont comparés en détail à ceux obtenus dans des expériences identiques sur des couches minces de Ge amorphe préparées par pulvérisation. Les similarités entre les propriétés de transport de ces deux types d'échantillons sont mises en évidence et discutées dans le cadre des théories existantes. On suggère que les différences sont liées à l'inhomogénéité de structure des couches minces amorphes.
7220F - Low-field transport and mobility; piezoresistance.
7220P - Thermoelectric and thermomagnetic effects.
7280C - Elemental semiconductors.
Key words
amorphous semiconductors -- electrical conductivity of amorphous semiconductors and insulators -- elemental semiconductors -- germanium -- semiconductor thin films -- sputtered coatings -- thermoelectric effects in semiconductors and insulators