Quelques aspects théoriques de l'émission électronique secondaire du cuivre, produite par bombardement d'électrons de faible énergie

Abstract
Secondary electron emission from thick metallic targets in a polycristalline state is studied from a theoretical point of view as they are bombarded by an electron beam of 200 eV energy. This analysis treats separately the processes of creation, transport and metal-vacuum interface crossing by excited electrons. Copper has been chosen as a check for our various assumptions. The source term makes use of a dielectric function given by optical measurements. A first treatment takes account of the different processes through a Boltzmann equation. When the maximum depth of penetration of primary electrons can no longer be considered as large as the excited electron mean free path, the former method may be doubtful. In such a case, by using a Monte Carlo simulation method, one can partially get rid of these difficulties. Results obtained by both methods are very similar. Thus one is allowed to think that a Boltzmann equation can give valuable information even beyond the domain of its validity. Agreement with experimental data is generally good. Influence of various parameters is studied in view of a more quantitative fitting.

Résumé
L'émission électronique secondaire de cibles métalliques polycristallines épaisses par bombardement électronique, est étudiée du point de vue théorique pour une énergie du faisceau primaire de 200 eV. Cette analyse distingue les processus de création, de transport et de franchissement de l'interface métal-vide par les électrons excités. Le cuivre a été choisi pour tester les différentes hypothèses. Le terme source utilise une fonction diélectrique issue de mesures optiques. Un premier traitement rend compte des divers processus au travers de l'équation de Boltzmann. Lorsque la profondeur maximale de pénétration des électrons primaires ne peut plus être considérée comme grande vis-à-vis du libre parcours moyen des électrons excités, la méthode précédente peut être contestable. Dans ces conditions, l'utilisation d'une méthode de simulation de Monte Carlo permet de s'affranchir partiellement de ces difficultés. Les résultats obtenus par les deux méthodes sont très voisins. Il est ainsi permis de penser que l'utilisation de l'équation de Boltzmann peut donner des indications appréciables même en dehors de son strict domaine de validité. L'accord avec l'expérience est bon en général. On étudie l'influence de divers paramètres en vue d'un ajustement plus quantitatif.