J. Phys. France 29, 1053-1065 (1968)
DOI: 10.1051/jphys:019680029011-120105300

Émission d'électrons Auger par les atomes d'une cible métallique soumise à un bombardement ionique

Jean-François Hennequin

Laboratoire de Physique des Solides associé au C.N.R.S., Bâtiment 210, Faculté des Sciences d'Orsay, Essonne

Abstract
The energy distribution of secondary electrons ejected from a metallic target upon bombardment by noble gas ions of a few kiloelectron-volts is studied with a magnetic analyzer described below. It is generally admitted that the kinetic emission of secondary electrons results from the de-excitation by Auger effect of "knocked-on" metal particles ; the major part of these electrons is slowed down before leaving the target. However, the energy distribution of electrons emitted by some light metals (Be, Mg, Al, Si) shows a peak at an energy which is a characteristic of the bombarded métal ; no similar effect appears with heavy metals (Ti, Ni, Cu) . The electrons having the energy of this peak did not suffer any slowing down and are produced by Auger de-excitations in the vicinity of the surface ; a small fraction of these de-excitations occurs outside the metal, with production of secondary positive ions.

Résumé
A l'aide d'un analyseur magnétique décrit ici, nous avons étudié la distribution énergétique des électrons secondaires émis par une cible métallique bombardée par des ions de gaz rares d'une énergie de quelques kiloélectron-volts. On admet généralement que l'émission cinétique d'électrons secondaires résulte de la désexcitation par effet Auger des particules métalliques heurtées, les électrons ainsi éjectés étant en majeure partie ralentis avant leur sortie de la cible. Cependant la distribution énergétique des électrons émis par les métaux légers (Be, Mg, A1, Si) présente un pic à une énergie caractéristique du métal, tandis qu'aucun effet similaire n'apparaît dans le cas des métaux lourds (Ti, Ni, Cu). Les électrons dont l'énergie est celle du pic n'ont donc subi aucun ralentissement et proviennent de désexcitations Auger au voisinage immédiat de la surface ; une faible fraction de ces désexcitations a lieu à l'extérieur du métal, avec formation d'ions secondaires positifs.

PACS
7920R - Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces.

Key words
Secondary electron emission -- Auger effect -- Ion irradiation -- Energy distribution -- Electron impact ionisation -- Heavy metal -- Light metal