Mécanisme physique des décharges haute fréquence entretenues par résonance

Abstract
When a r. f. discharge is excited with a frequency ω/2π higher than the collision frequency v, a resonance due to the dispersive properties of the plasma can control the steady state of the discharge and determine the value of the electron density for a given geometry and frequency.

Résumé
Lorsqu'on excite une décharge à haute fréquence avec une fréquence ω/2π élevée par rapport à la fréquence de collisions électrons-neutres les phénomènes de résonance dus aux propriétés dispersives du plasma peuvent dominer le mécanisme d'entretien de la décharge. On montre comment dans le cas d'une résonance dipolaire sans champ magnétique la densité électronique d'équilibre des décharges ainsi entretenues dépend de la géométrie et de la fréquence appliquée.