Répartition spatiale du champ électrique haute fréquence dans une décharge résonnante

Abstract
Using an electron-beam probing technique, we have measured the internal electric field in a r. f. discharge. Comparison with a simple theoretical model shows that the steady state of a large class of r. f. discharges is controlled by a plasma-sheath resonance.

Résumé
La comparaison des champs électriques à haute fréquence calculés à partir d'un modèle simple et mesurés à l'aide d'un dispositif à faisceaux électroniques montre que le régime permanent de certaines décharges à haute fréquence est dominé par une résonance série du système plasma-gaines.