Étude de la décharge par induction dans les sources d'ions positifs à excitation électrique de haute fréquence

Abstract
In this study, we set out to obtain expressions giving the values of the various parameters wich are characteristic of the induction discharge in positive ion sources with radiofrequency excitation. After describing the mechanism of this discharge, we establish the equations giving the magnetic and electric fields in the discharge space, when the displacement current is not negligible and in the special case where it may be neglected ; the intensity and the phase of the induced electric field exerted on the inside wall of the discharge cylinder are calculated. Finally, from the equation of electron scattering, the distribution of the electron density and the electric conductivity inside the ionized gas are evaluated.

Résumé
Cette étude a pour but d'obtenir une expression donnant la valeur des différents paramètres qui caractérisent la décharge par induction dans les sources d'ions positifs à excitation électrique de haute fréquence. Après avoir exposé quel est le mécanisme de cette décharge, on établit les équations qui donnent le champ magnétique et le champ électrique dans l'espace de décharge, lorsque le courant de déplacement n'est pas négligeable, et dans le cas particulier où on peut le négliger ; on calcule l'intensité et la phase du champ électrique induit sur la paroi interne du cylindre de décharge. A partir de l'équation de diffusion des électrons, on détermine enfin la répartition de la densité électronique et de la conductivité électrique à l'intérieur du gaz ionisé.