Issue
J. Phys. France
Volume 29, Number 7, juillet 1968
Page(s) 655 - 663
DOI https://doi.org/10.1051/jphys:01968002907065500
J. Phys. France 29, 655-663 (1968)
DOI: 10.1051/jphys:01968002907065500

Distributions énergétique et angulaire de l'émission ionique secondaire. II. Nature et distribution énergétique des ions secondaires

Jean-François Hennequin

Laboratoire de Physique des Solides associé au C.N.R.S., Faculté des Sciences, 91-Orsay


Abstract
This paper is the second part of an experimental study on secondary ion emission due to the bombardment of a metallic sample by primary ions of noble gases having an energy of a few kiloelectron-volts. After a review of the different results on the nature of secondary ions, we give our measurements concerning the distribution in energy and the mean energy of ions emitted by some metals (Mg, Al, Si, Ti, Fe, Ni, Cu) as a function of ejection and bombardment angles, and for different energies of the primary ions.


Résumé
Cet article constitue la deuxième partie d'une étude expérimentale de l'émission ionique secondaire qui résulte du bombardement d'un échantillon métallique par des ions de gaz rares d'une énergie de quelques kiloélectron-volts. Après une revue des différents résultats portant sur la nature des ions secondaires, nous présentons nos propres mesures de la distribution énergétique et de l'énergie moyenne des ions émis par plusieurs métaux (Mg, Al, Si, Ti, Fe, Ni, Cu) à différents angles d'éjection et de bombardement, et pour diverses énergies des ions primaires.

PACS
7920R - Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces.

Key words
secondary ion emission