Calcul exact de la fonction de distribution des ions incidents sur une cible dans le cas d'un plasma de pulvérisation

Abstract
In sputtering plasma, the sputtering rate depends upon the energy distribution of the ions that strike the target. Usually this function is intuitively determined. This paper describes the exact computation for this energy distribution.

Résumé
Dans un plasma de pulvérisation, la vitesse d'érosion de la cible dépend de la distribution en énergie des ions incidents. La formulation de cette fonction est toujours faite intuitivement Cet article décrit le calcul exact de cette distribution.