Numéro |
J. Phys. France
Volume 25, Numéro 12, décembre 1964
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Page(s) | 1035 - 1040 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jphys:0196400250120103500 |
DOI: 10.1051/jphys:0196400250120103500
Mesure de l'épaisseur de films minces métalliques à l'aide de franges d'interférence d'égal ordre chromatique
D. Bariaux et A. PonsletLaboratoire de Physique Appliquée de l'Université Libre de Bruxelles
Abstract
The authors have measured thicknesses of silver thin films by using fringes of equal chromatic order : these were of low order (n varying from 3 to 30) and the effect of phase shift has been examined for low n especially. Interpreting the results shows the global shift Φ = Φ(λ) appearing in the interferometer as a linear function of λ ; the accuracy of the measurement is discussed and the authors also describe a method for obtaining accurate measurements of thickness.
Résumé
Les auteurs ont mesuré des épaisseurs de lames minces d'argent en utilisant des franges d'égal ordre chromatique. Ils ont réalisé ces mesures à l'aide de franges d'ordre bas (n variant de 3 à 30) et ont étudié l'effet des déphasages qui se manifestent surtout pour n petit. De l'interprétation des résultats, il apparaît qu'en première approximation le déphasage global Φ = Φ(λ) se produisant dans l'interféromètre est une fonction linéaire de λ; la précision des mesures est discutée et ils décrivent une méthode pour obtenir des mesures dépaisseur précises.
0630B - Spatial dimensions (e.g., position, lengths, volume, angles, and displacements).
Key words
films -- thickness measurement