Numéro
J. Phys. France
Volume 48, Numéro 7, juillet 1987
Page(s) 1155 - 1159
DOI https://doi.org/10.1051/jphys:019870048070115500
J. Phys. France 48, 1155-1159 (1987)
DOI: 10.1051/jphys:019870048070115500

Optical losses of sputtered Ta2O5 films

A. Duparré, E. Welsch, H.G. Walther, H.J. Kühn et G. Schirmer

Sektion Physik, Friedrich-Schiller-Universität Jena Max-Wien-Platz 1, 6900 Jena, G.D.R.


Abstract
Visible light scattering as well as absorption measurements have been made on sputtered Ta2O5 single layers with changing the optical thickness of the film. Comparison of the results experimentally observed with those obtained from theory allowed conclusions to be drawn with respect to the dominant origins of scattering and absorption losses.


Résumé
Des mesures de diffusion de la lumière visible ainsi que de l'absorption ont été réalisées sur des films de Ta2O5 pulvérisés, d'épaisseur variable. La comparaison des résultats expérimentaux avec la théorie permet de tirer des conclusions relatives à l'origine des mécanismes dominants dans la diffusion et l'absorption.

PACS
7820 - Optical properties of bulk materials and thin films.
7835 - Brillouin and Rayleigh scattering; other light scattering.
7866 - Optical properties of specific thin films.

Key words
light absorption -- light scattering -- optical losses -- sputtered coatings -- tantalum compounds