Journal de Physique

Si (111) surface topography after Ar/sup +/ ion bombardment and thermal annealing
Topographie de surfaces Si(111) après bombardement d'ions Ar+ et recuit thermique

J. Fauré, A. Claverie, C. Vieu et J. Beauvillain

J. Phys. France, 48 7 (1987) 1161-1170

DOI: 10.1051/jphys:019870048070116100

J. Fauré

A. Claverie

C. Vieu

J. Beauvillain

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