J. Phys. France 38, 669-672 (1977)
DOI: 10.1051/jphys:01977003806066900

Excitation des ions N+2 dans des décharges R.F.

A. Ricard¹, M. Touzeau¹ et M. Moisan<sup>2

1</sup>  Laboratoire de Physique des Plasmas , Bâtiment 212 Université Paris-Sud, Centre d'Orsay, 91405 Orsay, France
²  Laboratoire de Physique des Plasmas, Université de Montréal, Canada

Abstract
Excitation of nitrogen by electron collision in R.F. discharges is studied from the emission of the molecular bands. For high values of n x R and ne/nx, the ionic lines are excited by electrons colliding with N+2(x) ions. The expérimental results, obtained in the range nx R < 5 x 10^15 cm-2, show that the N+2 excitation cross-section published by Lee-Carleton (1968) is an order of magnitude too high.

Résumé
L'excitation de l'azote par collisions électroniques dans des décharges R.F. est étudiée à partir de l'émission des bandes moléculaires. Aux fortes valeurs de nx R et de ne/n x, les raies ioniques sont excitées par collisions électroniques sur les ions N+2(x). Les résultats expérimentaux, obtenus pour nx R < 5 x 10^15 cm-2, montrent que la section efficace d'excitation des ions N+ 2 publiée par Lee-Carleton (1968) est d'un ordre de grandeur trop élevée.

PACS
3480G - Molecular excitation and ionization by electron impact.
5220F - Electron collisions.
5220H - Atomic, molecular, ion, and heavy-particle collisions.
5280P - High-frequency and RF discharges.

Key words
high frequency discharges -- molecular electron impact excitation -- molecular fluorescence -- nitrogen -- plasma collision processes