Influence du recuit sur la structure des couches minces d'or

Abstract
Changes in film structure during annealing are observed by measuring electrical resistivity variations. It thus appears a re-crystallization stage and a " coagulation " stage. Structures are then investigated by X-rays diffraction method and electron microscopy. The process activation energy may be derived from resistivity data.

Résumé
On suit l'évolution des couches minces au cours de leur recuit par la mesure des variations de la résistance électrique. On distingue ainsi une phase de recristallisation et une phase de « coagulation ». Les structures sont ensuite étudiées par diffraction des rayons X et par microscopie électronique. Des valeurs de la résistance, on peut évaluer l'énergie d'activation du phénomène.